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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Evaluation of fabricationmethod of InGaAs nanosheet 
著者
和文: 北村 稔, 金澤 徹, 宮本 恭幸.  
英文: M.Kitamura, T.Kanazawa, Y.Miyamoto.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         6-6
出版年月 2019年8月27日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:13rd th Topical Workshop onHeterostructure Microelectronics, (TWHM 2019) 
開催地
和文:富山 
英文:Toyama 

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