Effect of Superimposed DC Power on the Properties of Intrinsic Hydrogenated Amorphous Silicon Passivation Layer Deposited by RF Facing Target Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Superimposed DC Power on the Properties of Intrinsic Hydrogenated Amorphous Silicon Passivation Layer Deposited by RF Facing Target Sputtering

著者

和文:	白取優大, 中田和吉, 宮島晋介.
英文:	Yuta Shiratori, Kazuyoshi Nakada, Shinsuke Miyajima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Journal of Photovoltaics

巻, 号, ページ

Vol. 10 No. 4 pp. 927-934

出版年月

2020年5月8日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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