Application of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) as Sensors: A Review

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Application of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) as Sensors: A Review

著者

和文:	ｱﾊﾏﾄﾞｱﾃｨﾌﾓﾊﾏﾄﾞﾌｧｳｼﾞ, Yaser Sabzehmeidani, 鈴森康一.
英文:	Ahmad Athif Mohd Faudzi, Yaser Sabzehmeidani, Koichi Suzumori.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Robotics and Mechatronics

巻, 号, ページ

Vol. 32 No. 2 pp. 281-288

出版年月

2020年4月20日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI