Formation of Mo2C Electrodes using Stacked Sputtering Process for Thermally Stable SiC Schottky Barrier Diodes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Formation of Mo2C Electrodes using Stacked Sputtering Process for Thermally Stable SiC Schottky Barrier Diodes

著者

和文:	角嶋邦之, 鈴木貴志, 星井拓也, 宗田伊理也, 若林整, 岩井洋, Aoki Y., 筒井一生.
英文:	K. Kakushima, T. Suzuki, T. Hoshii, I. Muneta, H. Wakabayashi, HIROSHI IWAI, Y. Aoki,H. Nohira Aoki, KAZUO TSUTSUI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年6月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Int. Workshop on Junction Technology (IWJT2017)

開催地

和文:
英文:	Kyoto