Analysis of Chemical Bonding States of Boron Doped in Si Fin Structures: Selective Observation on Top Surfaces and Sidewalls

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analysis of Chemical Bonding States of Boron Doped in Si Fin Structures: Selective Observation on Top Surfaces and Sidewalls

著者

和文:	宮田陽平, 金原潤, 野平博司, Yudai Izumi, 室隆桂之, 木下豊彦, AHMET PARHAT, 角嶋邦之, 筒井一生, Takeo Hattori1, 岩井洋.
英文:	Youhei Miyata, Jun Kanehara, Hiroshi Nohira, Yudai Izumi, Takayuki Muro, Toyohiko Kinoshita, Parhat Ahmet, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Takeo Hattori1, Hiroshi Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年5月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	12th Int. Workshop on Junction Technology (IWJT2012)

開催地

和文:
英文:	Shanghai