Chemical Bonding States of As in Si Shallow Junctions Detected by Soft X-ray Photoelectron Spectroscopy and their Profiles

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Chemical Bonding States of As in Si Shallow Junctions Detected by Soft X-ray Photoelectron Spectroscopy and their Profiles

著者

和文:	金原潤, 宮田陽平, 野平博司, Yudai Izumi, 室隆桂之, 木下豊彦, AHMET PARHAT, 角嶋邦之, 筒井一生, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Jun Kanehara, Youhei Miyata, Hiroshi Nohira, Yudai Izumi, Takayuki Muro, Toyohiko Kinoshita, Parhat Ahmet, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Takeo Hattori, Hiroshi Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年9月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2011 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2011)

開催地

和文:
英文:	Aichi