Effect of Deposition Temperature on Thermal Stability of Lanthanum Oxide/Si Interfacial Transition Layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Deposition Temperature on Thermal Stability of Lanthanum Oxide/Si Interfacial Transition Layer

著者

和文:	H. Nohira, 松田卓也, 舘喜一, 椎野雄介, 宋在烈, Y. Kuroki, J. Ng, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 筒井一生, E. Ikenaga, 小林由貴, 岩井洋, 服部健雄.
英文:	H. Nohira, T. Matsuda, K. Tachi, Y. Shiino, J. Song, Y. Kuroki, J. Ng, P. Ahmet, K. Kakushima, K. Tsutsui, E. Ikenaga, K. Kobayashi, H. Iwai, T. Hattori.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2006年10月29日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 Joint International Meeting of ECS

開催地

和文:
英文:	Cancun