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論文・著書情報


タイトル
和文:アモルファス炭素膜利用の電気・電子素子開発に関する基礎研究 
英文:Fundamental Study on Fabrication of Electrical and Electronic Device Using Amorphous Carbon Films 
著者
和文: 赤坂大樹.  
英文: Hiroki Akasaka.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:日本 
言語 Japanese 
学位授与組織 東京工業大学 
報告番号  
学位授与日  
審査員  

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