アモルファス炭素膜利用の電気・電子素子開発に関する基礎研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	アモルファス炭素膜利用の電気・電子素子開発に関する基礎研究
英文:	Fundamental Study on Fabrication of Electrical and Electronic Device Using Amorphous Carbon Films

著者

和文:	赤坂大樹.
英文:	Hiroki Akasaka.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

学位授与日

審査員