ABH damping of monolithic silica glass cantilever by structural and material modification using fs laser micromachining

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	ABH damping of monolithic silica glass cantilever by structural and material modification using fs laser micromachining

著者

和文:	富田夏奈, 岸哲生, 矢野哲司, Pieter Vlugter, Yves Bellouard.
英文:	Kana Tomita, Tetsuo Kishi, Tetsuji Yano, Pieter Vlugter, Yves Bellouard.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Journal of Applied Glass Science

巻, 号, ページ

Vol. 12 Issue 1 pp. 36-45

出版年月

2020年12月3日

出版者

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会議名称

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開催地

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