A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer

著者

和文:	市川崇志, 柴田滉平, 古賀達也, 町田克之, 飯田慎一, 石原昇, 益一哉, 伊藤浩之.
英文:	Takashi Ichikawa, Kohei Shibata, Tatsuya Koga, Katsuyuki Machida, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Solid State Devices and Materials

開催地

和文:
英文: