100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討
英文:

著者

和文:	市川崇志, 渥美賢, 古賀達也, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之.
英文:	Takasi Itikawa, Ken Atsumi, Sayaka Koga, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第81回応用物理学会秋季学術講演会
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開催地

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