CMOS プロセスを利用したSi 導波路型反射率可変ミラーの作製と評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	CMOS プロセスを利用したSi 導波路型反射率可変ミラーの作製と評価
英文:	Evaluation of variable reflectance mirror using Si waveguide fabricated by CMOS process

著者

和文:	槇原豊, Moataz Eissa, 御手洗拓矢, 雨宮智宏, 西山伸彦, 庄司雄哉, 鈴木恵治郎, 鴻池遼太郎, 岡野誠, 池田和浩, 水本哲弥.
英文:	Yutaka Makihara, Moataz Eissa, Takuya Mitarai, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Yuya Shoji, Keijiro Suzuki, Ryotaro Konoike, Makoto Okano, Kazuhiro Ikeda, Tetsuya Mizumoto.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2020年9月

出版者

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会議名称

和文:	2020年電子情報通信学会ソサイエティ大会
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開催地

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