Structural and Mechanical Properties of a-BCN Films prepared by Arc-Sputtering Hybrid Process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Structural and Mechanical Properties of a-BCN Films prepared by Arc-Sputtering Hybrid Process

著者

和文:	平田祐樹, 竹内亮大郎, 谷口紘章, 河越雅雄, 岩本喜直, 吉里樹人, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Yuki Hirata, Ryotaro Takeuchi, Hiroyuki Taniguchi, Masao Kawagoe, Yoshinao Iwamoto, Mikito Yoshizato, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials

巻, 号, ページ

vol. 14 2300 1-18

出版年月

2021年2月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI