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タイトル
和文: 
英文:Preparation of 1 μm-thick Y-doped HfO2 ferroelectric films on (111)Pt/TiOx/SiO2/(001)Si substrates by a sputtering method and their ferroelectric and piezoelectric properties 
著者
和文: 志村 礼司郎, 三村 和仙, 舘山 明紀, 清水 荘雄, 山田 智明, 舟窪 浩.  
英文: Reijiro Shimura, Takanori Mimura, Akinori Tateyama, Takao Shimizu, Tomoaki Yamada, Hiroshi Funakubo.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys. 
巻, 号, ページ vol. 60        pp. 031009
出版年月 2021年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.35848/1347-4065/abe72e

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