Deposition phenomena investigation of DLC films on inner walls of circular metal tubes by nanopulse plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition phenomena investigation of DLC films on inner walls of circular metal tubes by nanopulse plasma CVD

著者

和文:	岩本喜直, 平田祐樹, 中川勝瑛, 髙村瞭太, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Yoshinao Iwamoto, Yuki Hirata, Masaaki Nakagawa, Ryota Takamura, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstract of The 14th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2020/2021)

巻, 号, ページ

7A-19

出版年月

2021年6月7日

出版者

和文:
英文:	NDNC2020 COMMITTEE

会議名称

和文:
英文:	The 14th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2020/2021)

開催地

和文:
英文: