Room-temperature deposition of a poling-free ferroelectric AlScN film by reactive sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Room-temperature deposition of a poling-free ferroelectric AlScN film by reactive sputtering

著者

和文:	TSAI Sung Lin, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, T-K. Chung, E. Chang, 角嶋邦之.
英文:	S-L. Tsai, T. Hoshii, H. Wakabayashi, K. Tsutsui, T-K. Chung, E. Chang, K. Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 118 No. 8 Page 82902

出版年月

2021年2月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI