A possible origin of the large leakage current in ferroelectric Al1-xScxN films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A possible origin of the large leakage current in ferroelectric Al1-xScxN films

著者

和文:	片岡淳司, TSAI Sung Lin, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之.
英文:	Junji Kataoka, Sung-Lin Tsai, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Kuniyuki Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics (JJAP) (Rapid Communication)

巻, 号, ページ

Vol. 60 Page 30907

出版年月

2021年2月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI