Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys toward Design of MEMS Components

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys toward Design of MEMS Components

著者

和文:	秋山拓海, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 伊藤浩之, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Takumi Akiyama, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021)

開催地

和文:
英文:	Turin