面照射型大気圧マルチガスプラズマ装置の開発と基礎特性の測定

論文・著書情報

タイトル

和文:	面照射型大気圧マルチガスプラズマ装置の開発と基礎特性の測定
英文:	Development and basic performance measurement of atmospheric shower head type multi-gas plasma source

著者

和文:	野口剛, 山崎顕一, 末永祐磨, 沖野晃俊.
英文:	Tsuyoshi Noguchi, Kenichi Yamazaki, Yuma Suenaga, AKITOSHI OKINO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2021年9月10日

出版者

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会議名称

和文:	第82回応用物理学会秋季学術講演会
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開催地

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