Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:対向ターゲット式スパッタ法による高周波動作用CoZrO 薄膜の作製 
英文:CoZrO nanogranular films for high frequency operation prepared by facing targets sputtering 
著者
和文: 河原和馬, 金子忠幸, *安田智貴, *棚瀬純平, 高村陽太, *藤崎敬介, 中川茂樹 (*豊田工業大学).  
英文: K. Kawahara, T. Kaneko, T. Yasuda, J. Tanase, Y. Takamura, K. Fujisaki, SHIGEKI NAKAGAWA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第45 回日本磁気学会学術講演概要集 
英文: 
巻, 号, ページ 02pC-4       
出版年月 2021年9月2日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第45回日本磁気学会学術講演会 
英文:The 45th Annual Conference on MAGNETICS in Japan 
開催地
和文:日本 
英文:Japan 
公式リンク https://www.magnetics.jp/kouenkai/2021/
 

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.