対向ターゲット式スパッタ法による高周波動作用CoZrO 薄膜の作製

論文・著書情報

タイトル

和文:	対向ターゲット式スパッタ法による高周波動作用CoZrO 薄膜の作製
英文:	CoZrO nanogranular films for high frequency operation prepared by facing targets sputtering

著者

和文:	河原和馬, 金子忠幸, 安田智貴, 棚瀬純平, 高村陽太, 藤崎敬介, 中川茂樹.
英文:	K. Kawahara, T. Kaneko, T. Yasuda, J. Tanase, Y. Takamura, K. Fujisaki, S. Nakagawa.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第45 回日本磁気学会学術講演概要集
英文:

巻, 号, ページ

02pC-4

出版年月

2021年9月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第45回日本磁気学会学術講演会
英文:	The 45th Annual Conference on MAGNETICS in Japan

開催地

和文:	日本
英文:	Japan

公式リンク