[18a-Z29-4] スパッタによるa-Si:H膜を用いたTOPCon構造形成の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	[18a-Z29-4] スパッタによるa-Si:H膜を用いたTOPCon構造形成の検討
英文:	[18a-Z29-4] Fabrication of TOPCon structure using sputtered a-Si:H layers

著者

和文:	宮本拓実, 白取優大, 宮島晋介.
英文:	Takumi Miyamoto, Yuta Shiratori, Shinsuke Miyajima.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2021年3月16日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第68回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 68the JSAP Spring Meeting 2021

開催地

和文:
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