大気圧プラズマCVDの大面積化に向けたシャワーヘッド型マルチガスプラズマ装置の開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気圧プラズマCVDの大面積化に向けたシャワーヘッド型マルチガスプラズマ装置の開発
英文:	Development of shower head type multi-gas plasma source for large area atmospheric plasma CVD

著者

和文:	野口剛, 山崎顕一, 末永祐磨, 安井祐之, 末松妃菜子, 沖野晃俊.
英文:	Tsuyoshi Noguchi, Kenichi Yamazaki, Yuma Suenaga, Hiroyuki Yasui, Hinako Suematsu, AKITOSHI OKINO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2021年12月3日

出版者

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会議名称

和文:	放電学会年次大会
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開催地

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