アモルファス炭窒化ホウ素膜の構造および機械的特性評価と体系化 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	アモルファス炭窒化ホウ素膜の構造および機械的特性評価と体系化
英文:

著者

和文:	平田祐樹.
英文:	Yuki Hirata.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	セラミックデーターブック 2021/22
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 49 No. 103 pp. 112

出版年月

2021年12月

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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