Stability and Room Temperature Deposition of Ferroelectric Phase in Y-Doped (Hf, Zr)O2 Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Stability and Room Temperature Deposition of Ferroelectric Phase in Y-Doped (Hf, Zr)O2 Films

著者

和文:	舟窪浩, 三村和仙, 志村礼司郎, Yoshiko Nakamura, 清水荘雄.
英文:	Hiroshi Funakubo, Takanori Mimura, Reijiro Shimura, Yoshiko Nakamura, Takao Shimizu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年4月

出版者

和文:
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会議名称

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英文:	2021 Virtual MRS Spring Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文: