MEMSデバイスへの応⽤に向けた⾦ニッケル合⾦の微⼩機械的特性 の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMSデバイスへの応⽤に向けた⾦ニッケル合⾦の微⼩機械的特性の評価
英文:

著者

和文:	秋⼭拓海, CHIENYu-An, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Chang, 伊藤浩之, 町⽥克之, 三宅美博, 曽根正⼈.
英文:	Takumi Akiyama, Yu-An Chien, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年3月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2022年応⽤物理学会春季講演会
英文:

開催地

和文:	神奈川
英文: