Flexible Sensors Utilizing Functionalized Oxide Films Fabricated by Controlling Spin-spray Reactions and Post-treatment below 90℃

論文・著書情報

タイトル

和文:	スピンスプレー反応制御と90℃以下の後処理により作製した機能性酸化物膜のフレキシブルセンサ応用
英文:	Flexible Sensors Utilizing Functionalized Oxide Films Fabricated by Controlling Spin-spray Reactions and Post-treatment below 90℃

著者

和文:	新田亮介.
英文:	Ryosuke Nitta.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	Japan

言語

English

学位授与組織

Tokyo Institute of Technology

報告番号

甲第11784号

学位授与日

2022/03/26

審査員

ファイル