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タイトル
和文:Suppressed Drift and Low-Noise Sensor Module with a Single-Axis Gold Proof-Mass MEMS Accelerometer for Micro Muscle Sound Measurement 
英文:Suppressed Drift and Low-Noise Sensor Module with a Single-Axis Gold Proof-Mass MEMS Accelerometer for Micro Muscle Sound Measurement 
著者
和文: 大西 哲, 柴田 浩平, 内山 晃宏, 町田 克之, 緒方 大樹, 石原 昇, 内富 寛隆, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 三宅美博, 伊藤 浩之.  
英文: Akira Onishi, Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Katsuyuki Machida, Taiki Ogata, Noboru Ishihara, Hirotaka Uchitomi, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 61        p. SD1028
出版年月 2022年3月7日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文: 
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開催地
和文: 
英文: 
公式リンク 10.1109/JSEN.2022.3184340
 
DOI https://doi.org/10.1109/JSEN.2022.3184340

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