PVD法により作製したBCN膜の構造及び耐熱性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	PVD法により作製したBCN膜の構造及び耐熱性評価
英文:	Structural and thermal properties of BCN film by PVD method

著者

和文:	吉井寛太, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Kanta Yoshii, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2022年度精密工学会春季大会学術講演会要綱集
英文:	Abst. book: The Japan Society for Precision Engineering Spring Meeting 2022

巻, 号, ページ

出版年月

2022年3月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2022年度精密工学会春季大会学術講演会第29回学⽣会員卒業研究発表講演会
英文:	The Japan Society for Precision Engineering Spring Meeting 2022

開催地

和文:
英文: