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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A 3-D capacitive-detection electrode for a single gold proof-mass three-axis MEMS accelerometer 
著者
和文: 市川崇志, 内山晃宏, 柴田滉平, 飯田慎一, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之.  
英文: Takasi Ichikawa, Akihiro Uchiyama, Kohei Shibata, Shinichi Iida, Sangyeop Lee, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2021年3月 
出版者
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会議名称
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英文:Inertial 
開催地
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英文: 

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