A 3-D capacitive-detection electrode for a single gold proof-mass three-axis MEMS accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A 3-D capacitive-detection electrode for a single gold proof-mass three-axis MEMS accelerometer

著者

和文:	市川崇志, 内山晃宏, 柴田滉平, 飯田慎一, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之.
英文:	Takasi Ichikawa, Akihiro Uchiyama, Kohei Shibata, Shinichi Iida, Sangyeop Lee, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Inertial

開催地

和文:
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