Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討
英文:

著者

和文:	柴田滉平, 内山晃宏, 大西哲, 李尚曄, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 伊藤浩之.
英文:	Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Akira Onishi, Sangyeop Lee, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年11月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第13回集積化MEMSシンポジウム
英文:

開催地

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