Impurities Analysis of the Gold Components in MEMS Accelerometer by TDS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Impurities Analysis of the Gold Components in MEMS Accelerometer by TDS

著者

和文:	秋山拓海, 陳君怡, 栗岡智行, Chang Tso-Fu Mark, CHAKRABORTY P, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Takumi Akiyama, Chun-Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	48th international conference on Micro and Nano Engineering - Eurosensors (MNE-ES)

開催地

和文:
英文:	Leuven