No-Heating Deposition of 1-μm-Thick Y-Doped HfO2 Ferroelectric Films with Good Ferroelectric and Piezoelectric Properties by Radio Frequency Magnetron Sputtering Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	No-Heating Deposition of 1-μm-Thick Y-Doped HfO2 Ferroelectric Films with Good Ferroelectric and Piezoelectric Properties by Radio Frequency Magnetron Sputtering Method

著者

和文:	志村礼司郎, 三村和仙, 舘山明紀, 白石貴久, 清水荘雄, 山田智明, Yoshitomo Tanaka, Yukari Inoue, 舟窪浩.
英文:	Reijiro Shimura, Takanori Mimura, Akinori Tateyama, Takahisa Shiraishi, Takao Shimizu, Tomoaki Yamada, Yoshitomo Tanaka, Yukari Inoue, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Phys. Status Solidi RRL

巻, 号, ページ

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出版年月

2022年1月14日

出版者

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会議名称

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開催地

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