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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A micro chemical analyzing system integrated on a silicon wafer 
著者
和文: 中川茂, 庄子習一, 江刺 正喜.  
英文: Shigeru Nakagawa, Shuichi Shoji, Masayoshi Esashi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 1990年2月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:IEEE Micro Electro Mechanical Systems 
開催地
和文: 
英文:Napa Valley, California 

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