薄膜化による(Al,Sc)N膜の結晶異方性及び強誘電特性の向上

論文・著書情報

タイトル

和文:	薄膜化による(Al,Sc)N膜の結晶異方性及び強誘電特性の向上
英文:

著者

和文:	安岡慎之介, 水谷涼一, 大田怜佳, 白石貴久, 清水荘雄, 安井伸太郎, 江原祥隆, 西田謙, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 今井康彦, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Reika Ota, Takahisa Shiraishi, Shimizu Takao, Shintaro Yasui, Yoshitaka Ehara, ken nishida, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 今井康彦, Osami Sakata, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年3月22日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第69回応用物理学会春季学術講演会
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開催地

和文:	相模原市
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