Development of Bipolar Electrostatic Chuck with a Beam-Array Assembly Fabricated by Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Bipolar Electrostatic Chuck with a Beam-Array Assembly Fabricated by Lithography

著者

和文:	田岡祐樹, 河鰭康平, HEMTHAVY PASOMPHONE, 崔勝萬, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
英文:	Yuki Taoka, Kohei Kawabata, Pasomphone Hemthavy, Seungman Choi, Kunio Takahashi, Shigeki Saito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Journal of Automation Technology

巻, 号, ページ

Vol. 16

No. 4

pp. 471-477

出版年月

2022年7月

出版者

和文:
英文: