縦型結晶成長装置におけるGaN MOVPEシミュレーション

論文・著書情報

タイトル

和文:	縦型結晶成長装置におけるGaN MOVPEシミュレーション
英文:	Simulation of a GaN MOVPE Process in a Vertical Crystal Growth Apparatus

著者

和文:	富澤巧, 川上賢人, 櫻井照夫, 草場彰, 岡本直也, 芳松克則, 醍醐佳明, 水島一郎, 依田孝, 寒川義裕, 柿本浩一, 白石賢二.
英文:	Takumi Tomizawa, Kento Kawakami, Teruo Sakurai, Akira Kusaba, Naoya Okamoto, Katsunori Yoshimatsu, Yoshiaki Daigo, Ichiro Mizushima, Takashi Yoda, Yoshihiro Kangawa, Koichi Kakimoto, Kenji Shiraishi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2019年3月10日

出版者

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会議名称

和文:	第66回応用物理学会春期学術講演会
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開催地

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