水素化アモルファス炭素膜の摺動中の逐次評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	水素化アモルファス炭素膜の摺動中の逐次評価
英文:	Analysis of sliding products by sequential structural evaluation of amorphous carbon films

著者

和文:	法月奏太, 平田祐樹, 大竹尚登, 赤坂大樹.
英文:	Sota Norizuki, Yuki Hirata, NAOTO OHTAKE, Hiroki Akasaka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	応用物理学会第83回秋季講演会要旨集
英文:	Abst book of The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

開催地

和文:	仙台市
英文:	Sendai