反応性対向ターゲット式スパッタ法で作製したCoZrO薄膜における 酸素導入量が磁気特性に与える影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	反応性対向ターゲット式スパッタ法で作製したCoZrO薄膜における酸素導入量が磁気特性に与える影響
英文:	Effects of oxygen gas flow on magnetic property of CoZrO films formed by reactive facing target sputtering

著者

和文:	金子忠幸, 仁田帆南, 高村陽太, 中川茂樹.
英文:	T. Kaneko, H. Nitta, Y. Takamura, S. Nakagawa.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

08pC-5

出版年月

2022年9月8日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第46回日本磁気学会学術講演会
英文:	The 46th Annual Conference on MAGNETICS in Japan

開催地

和文:	長野県長野市
英文:	Nakagano

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