Characteristics of SiON waveguides at various refractive indices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics of SiON waveguides at various refractive indices

著者

和文:	山口圭太, MOATAZShaher Anis Mahmoud Eissa, 大礒義孝, 雨宮智宏, 西山伸彦.
英文:	Keita Yamaguchi, Shaher Anis Mahmoud Eissa Moataz, Yoshitaka Oiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年12月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ISPEC2022

開催地

和文:
英文:	Tokyo