ボロノイ分割と繰り返し改善によるマスク最適化手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	ボロノイ分割と繰り返し改善によるマスク最適化手法
英文:	Mask Optimization Using Voronoi Partition and Iterative Improvement

著者

和文:	野中尚貴, 小平行秀, 高橋篤司, 児玉親亮.
英文:	Naoki Nonaka, Yukihide Kohira, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2022-41)
英文:	IEICE Technical Report (VLD2022-41)

巻, 号, ページ

Vol. 122 No. 283 pp. 127-132

出版年月

2022年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	VLSI設計技術研究会
英文:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

開催地

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