Process variation-aware mask optimization with iterative improvement by subgradient method and boundary ﬂipping

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Process variation-aware mask optimization with iterative improvement by subgradient method and boundary ﬂipping

著者

和文:	東梨奈, 小平行秀, 松井知己, 高橋篤司, 児玉親亮.
英文:	Rina Azuma, Yukihide Kohira, Tomomi Matsui, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE 11328, Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability XIV, 113280O

巻, 号, ページ

pp. 1-7

出版年月

2020年3月23日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI