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論文・著書情報


タイトル
和文:TEM-PED を用いた TiN/Si3N4 接合界面における歪解析 
英文: 
著者
和文: 能川 玄也, 高野 俊, 沖代 賢次, 岡本 篤志, 磯部 敏宏, 中島 章.  
英文: Takashi Nogawa, 高野 俊, 沖代 賢次, 岡本 篤志, Toshihiro Isobe, Akira Nakajima.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年3月10日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本セラミックス協会2023年会 
英文: 
開催地
和文:神奈川県 
英文: 

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