Characterization of structural and mechanical properties of DLC films deposited on the surface of minute-scale 3D objects: Comparison of PECVD and FCVA deposition technique

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of structural and mechanical properties of DLC films deposited on the surface of minute-scale 3D objects: Comparison of PECVD and FCVA deposition technique

著者

和文:	平田祐樹, 川合功太郎, 加藤豊大, Hayata Fujimoto, Yuto Tameno, 西川拓海, Hiroshige Matsuoka, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Yuki Hirata, Kotaro Kawai, Toyohiro Kato, Hayata Fujimoto, Yuto Tameno, Takumi Ishikawa, Hiroshige Matsuoka, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Surface and Coatings Technology

巻, 号, ページ

pp. 129401

出版年月

2023年3月10日

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: