対向ターゲット式スパッタで作製したCoFeB-SiO2薄膜を用いた長方形スパイラルインダクタ

論文・著書情報

タイトル

和文:	対向ターゲット式スパッタで作製したCoFeB-SiO2薄膜を用いた長方形スパイラルインダクタ
英文:

著者

和文:	仁田帆南, 金子忠幸, 河原和馬, 石戸亮祐, 宮﨑達也, 細田尚揮, 藤﨑敬介, 中川茂樹, 高村陽太.
英文:	H. Nitta, T. Kaneko, K. Kawahara, R. Ishido, T. Miyazaki, N. Hosoda, K. Fujisaki, S. Nakagawa, Y. Takamura.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

2-095

出版年月

2023年3月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	令和5年電気学会全国大会
英文:

開催地

和文:	愛知県名古屋市
英文:	Nagoya

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