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論文・著書情報


タイトル
和文:マグネトロンスパッタリングを用いたhBNナノシートの合成及び構造評価 
英文: 
著者
和文: 吉井寛太, 吉里樹人, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.  
英文: Kanta Yoshii, Mikito Yoshizato, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年3月14日 
出版者
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会議名称
和文:2023年度精密工学会春季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
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