Deposition and evaluation of Ta2O5 piezoelectric thin film on Pt crystal film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition and evaluation of Ta2O5 piezoelectric thin film on Pt crystal film

著者

和文:	Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, 小寺正徳, 舟窪浩.
英文:	Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 61 pp. SG1076-1-8

出版年月

2022年6月10日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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