共用クリーンルームの管理運営と半導体マイクロプロセス技術の開発による研究支援

論文・著書情報

タイトル

和文:	共用クリーンルームの管理運営と半導体マイクロプロセス技術の開発による研究支援
英文:	Technical conducting for shared clean room as an open laboratory, and research cooperation by development of semiconductor microfabrication technologies

著者

和文:	松谷晃宏.
英文:	Akihiro Matsutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	TCカレッジ TC論文
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年3月14日

出版者

和文:	東京工業大学オープンファシリティセンター
英文:	Tokyo Institute of Technology Open Facility Center

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
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