Fabrication and characterization CoZrO films deposited by facing targets reactive sputtering for micro magnetic inductor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication and characterization CoZrO films deposited by facing targets reactive sputtering for micro magnetic inductor

著者

和文:	金子忠幸, 仁田帆南, 高村陽太, 中川茂樹.
英文:	T. Kaneko, H. Nitta, Y. Takamura, S. Nakagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

CP-20

出版年月

2023年5月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The First International Symposium on Integrated Magnetics 2023 (iSIM 2023)

開催地

和文:	宮城県仙台市
英文:	Sendai, Miyagi

公式リンク

受賞情報

iSIM Best Poster Award May 2023