Simulation and fabrication of planar type spiral inductors with facing target sputtered CoFeB-SiO2 magnetic layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Simulation and fabrication of planar type spiral inductors with facing target sputtered CoFeB-SiO2 magnetic layers

著者

和文:	高村陽太, 仁田帆南, R. Ishido, 金子忠幸, 宮崎曉, 細田万吉, 藤崎和幸, 中川茂樹.
英文:	Y. Takamura, H. Nitta, R. Ishido, T. Kaneko, T. Miyazaki, N. Hosoda, K. Fujisaki, S. Nakagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

CP-15

出版年月

2023年5月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The First International Symposium on Integrated Magnetics 2023 (iSIM 2023)

開催地

和文:	宮城県仙台市
英文:	Sendai, Miyagi

公式リンク