Fabrication of CoFeB-SiO2 films with large uniaxial anisotropic by facing target sputtering and its application to high frequency planar type spiral inductors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of CoFeB-SiO2 films with large uniaxial anisotropic by facing target sputtering and its application to high frequency planar type spiral inductors

著者

和文:	高村陽太, 仁田帆南, 河原和馬, 金子忠幸, 石戸亮祐, 宮﨑達也, 細田尚揮, 藤﨑敬介, 中川茂樹.
英文:	Y. Takamura, H. Nitta, K. Kawahara, T. Kaneko, R. Ishido, T. Miyazaki, N. Hosoda, K. Fujisaki, S. Nakagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Intermag 2023 Digest Book

巻, 号, ページ

MOA-05

出版年月

2023年5月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Intermag2023

開催地

和文:	宮城県仙台市
英文:	Sendai, Miyagi

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